平面基板表面处理之方法与装置

摘要

一种具有空气离子化装置、一电极和一与之互有间距之反电极之本发明装置之应用，其中，电路板系穿过两电极中间。该电路板得具有容置孔或通透孔。电极施以高频率高电压，而反电极予以接地，故于其间形成一放电现象并产生等离子体云，藉此使得电路板的表面得以处理，尤其是电路板内之容置孔或通送孔得有去污净化(cleaning)之效果。