具金属互连配线之基板之洗净装置

摘要

本发明系有关一种洗净装置，此装置可减少用以在基板上形成互连配线之金属或合金之间的电位差，藉此使基板洗净制程期间或基板洗净制程之后的腐蚀最小化。该具金属互连配线之基板之洗净装置包括用以洗净基板之洗净机构及用以将功能水供应至该洗净机构之功能水供应机构。该洗净机构系利用功能水洗净基板表面。