发明名称 制造设备之搬送系统
摘要 本发明之目的是提供一种藉设置顶部搬送机构与可传递搬送物之升降机,可以减低设置于制造设备之储料器的数目及制程内搬送机构的数目之制造设备之搬送系统。又,在顶部搬送机构与储料器之间,设置具有输送带与站升降机之卡匣站,而输送带则可以在储料器吊车与站升降机两者之间传递卡匣。
申请公布号 TW200424109 申请公布日期 2004.11.16
申请号 TW093104775 申请日期 2004.02.25
申请人 富士通显示技术股份有限公司 发明人 渡边和广;石井英夫;太田雄一郎
分类号 B65G49/07;H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 日本