空中配线之制造方法及空中配线之制造装置

摘要

提供一种可以制造奈米级空中配线之制造方法及其制造装置。根据预先记忆在电脑图案描绘装置(9)中之3维位置资料与光束照射位置、照射方向、照射时间来照射光束，利用光束激励反应以CVD制程制作空中配线(3)。