金属氧化粉或半导体氧化粉之制造方法及氧化粉,固体及其应用

摘要

本发明系关于一种制造具有高导电性之奈米结构之混合氧化物(例如，铟–锡–氧化物)之方法、以及一氧化粉、一固体及其作为溅射靶之应用。该氧化物藉由合成反应制造，其中液态合金系以极热电浆溅射。该合成反应在极高温度下引发，并继控制热状态，因而产生无任何缺陷且可使电荷高迁移率之结晶结构。