用于化学溶液之监控、调配剂量及分布的方法及装置(METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING, DOSING AND DISTRIBUTION OF CHEMICAL SOLUTIONS)

摘要

本发明之一个目的系提出一种用于一材料处理制程的一化学合成物之监控、调配剂量与分布的系统及方法，该化学合成物系含有至少一个添加剂以维持化学处理制程的品质。该种系统包含：至少一个化学物容纳单元，构成以容纳用于化学处理制程的化学合成物；一调配剂量单元，以流体方式连通于至少一个化学物容纳单元，构成以接收来自化学物容纳单元的化学合成物且加入该至少一个添加剂之一选定的剂量至其中的化学合成物；一连线监控器，构成以监控于调配剂量单元之化学合成物的一性质且发送其对应于监控的性质之一讯号；及，一控制器，其经程式规划且构成以接收来自该连线监控器之讯号且送出一讯号至调配剂量单元，回应于监控的性质而加入选定的剂量至其中的化学合成物。该种方法包含以下步骤。该化学合成物系允许自至少一个化学物容纳单元而流动至一调配剂量单元。化学合成物的一性质系以一连线监控器而监控，该连线监控器为位于该化学物容纳单元与调配剂量单元之间的一位置或在该调配剂量单元。关联于监控性质之一讯号系由该连线监控器而送出至一控制器。该控制器系基于监控的性质而决定该至少一个添加剂是否应为加入至贮藏器之化学合成物，因此根据来自该连线监控器的讯号而决定加入或不加入该至少一个添加剂之一选定量至贮藏器之化学合成物。有关该决定之一讯号系自该控制器送出至调配剂量单元。该至少一个添加剂之选定量系允许为回应于有关该决定之讯号而加入或不加入化学合成物至调配剂量单元。化学合成物系允许自该调配剂量单元而流动至化学物容纳单元。