| 主权项 |
1.一种用于支撑一基板在一加工室中之支撑总成,该支撑总成包含:(a)一支撑块,其包含一电极;(b)一将该基板块固持在该加工室中之臂,该臂包含一第一夹具以连接至该支撑块与一第二夹具以连接至该加工室,及该臂具有一通道通过其中;(c)一复数个通过该臂之该通道的电导体;及(d)一在该导体之间的陶瓷绝缘体。2.如申请专利范围第1项之支撑总成,其中该复数个电气连接器包含(i)一热电偶及(ii)一电气接地连接器。3.如申请专利范围第1项之总成,其中该陶瓷绝缘体包含一或多个氧化铝、氧化锆、氧化矽、碳化矽、模来石(mullite)及氮化矽。4.如申请专利范围第1项之总成,其中该陶瓷绝缘体包含绝缘条,该绝缘条系在该复数电导体之间沿着一长度间隔开来。5.如申请专利范围第1项之总成,其中该陶瓷绝缘体系呈一半柱形。6.如申请专利范围第5项之总成,其中该陶瓷绝缘体包含一凹形支撑面以支撑一或多个该电气连接器。7.一种加工室,其包含如申请专利范围第1项之总成。8.一种用于支撑一基板在一加工室中之基板支持总成,该总成包含:一介电块,该介电块具有一电极埋置在其中;一将该介电块固持在该加工室中之臂,该臂具有一第一夹具以连接至该介电块与一第二夹具以连接至该加工室的一部分,该臂包含一通道通过其中;一通过该臂之该通道的电气接地连接器,该电气接地连接器包含一第一端子以电气连接至该电极及一第二端子,该第二端子系用来将该电极电气接地;一热电偶,该热电偶系通过该臂之该通道且靠近该电气接地连接器;及一陶瓷绝缘体,该陶瓷绝缘体系介于在该臂之该通道中的该电气接地连接器与该热电偶之间。9.如申请专利范围第8项之总成,其中该陶瓷绝缘体包含一或多个氧化铝,氧化锆、氧化矽、碳化矽、模来石(mullite)及氮化矽。10.如申请专利范围第8项之总成,其中该陶瓷绝缘体系呈一半柱形。11.一种用于支撑一基板在一加工室中之基板支持总成,该总成包含:一金属块,该金属块具有一阳极化金属板在其上方;一将该金属块固持在该加工室中之臂,该臂具有一第一夹具以连接至该金属块与一第二夹具以连接至该加工室的一部分,该臂包含一通道通过其中;一通过该臂之该通道的电气接地连接器,该电气接地连接器包含一第一端子以电气连接至该金属块及一第二端子,该第二端子系用来将该金属块电气接地;一热电偶,该热电偶系通过该臂之该通道且靠近该电气接地连接器;及一陶瓷绝缘体,该陶瓷绝缘体系介于在该臂之该通道中的该电气接地连接器与该热电偶之间。12.如申请专利范围第11项之总成,其中该陶瓷绝缘体包含一或多个氧化铝,氧化锆、氧化矽、碳化矽、模来石(mullite)及氮化矽。13.如申请专利范围第11项之总成,其中该陶瓷绝缘体系呈一半柱形。图式简单说明:第1a图系为一实施例之侧断面图,该实施例系为一基板支持总成,其包含一陶瓷绝缘体,该陶瓷绝缘体系介于在一支撑臂中之一接地连接器及一热电偶之间;第1b图系为另一个实施例之侧断面图,该实施例系为一基板支持总成,其包含一陶瓷绝缘体,该陶瓷绝缘体系介于在一支撑臂中之一接地连接器及一热电偶之间;第2图系为一支撑臂之横断面图,该支撑臂具有该陶瓷绝缘体;第3图系为一加工室之一态样的部分侧视图,该加工室具有依据本新型一实施例之基板支持总成。 |
