| 主权项 |
1.一种监视制造系统(10)之方法,包括:定义关联于该制造系统(10)之复数个观察之状态;产生对于此观察之状态的状态估测;产生对于各该状态估测之不确定性値;接收关联于该制造系统(10)中实体之测量资料;以及根据关联于该状态估测之该测量资料和该不确定性値而更新该状态估测。2.如申请专利范围第1项之方法,进一步包括:产生包括状态估测之状态估测向量;以及产生关联于该状态估测向量之协方差矩阵,该状态估测向量包括定义该不确定性値之对角线项和定义状态之间相互依存关系之非对角线项。3.如申请专利范围第1项之方法,进一步包括:于制造系统(10)中施行处理步骤;以及根据该处理步骤和关联之不确定性値来更新各状态估测。4.如申请专利范围第1项之方法,其中该制造系统包括组构成用来处理复数个产品之复数个工具(30至80),以及定义该复数个观察之状态进一步包括定义工具状态和产品状态其中之一种。5.如申请专利范围第2项之方法,进一步包括:辨识关联于该制造系统(10)之额外的观察之状态;对于该额外的观察之状态产生初始状态估测;将该初始状态估测与该状态估测向量合并;对于该额外的观察之状态产生初始协方差估测;以及将该初始协方差估测与该协方差矩阵合并。6.如申请专利范围第1项之方法,进一步包括:于第一时间辨识一组之初始状态估测;维持于第一时间后发生之关联于该制造系统(10)之一队列事件,该等事件包括处理事件和测量事件;接收第一测量事件;辨识关联于该第一测量事件之处理事件之其中的一个;选择于辨识处理事件后发生之事件;以及根据该第一测量事件和该选择之事件组,反覆更新初始状态估测。7.如申请专利范围第1项之方法,进一步包括:根据该测量资料产生第一输出写映;根据该第一输出写映、该测量资料、和该关联之不确定性値,更新该状态估测;接收于该第一处理事件后发生之关联于第二处理事件之第二测量;根据该第二测量产生第二输出写映;以及根据该第二输出写映、该第二测量、和该关联之不确定性値,更新该状态估测。8.如申请专利范围第1项之方法,进一步包括:辨识于该制造系统中用来施行活动之复数个候选排程;根据该候选排程,预测于不确定性値之改变;以及根据于不确定性値之预定的改变,选择其中一个候选排程。9.如申请专利范围第8项之方法,其中产生该复数个候选排程进一步包括:排程复数个处理活动;以及排程复数个关联于处理活动之子集合之度量活动,各候选排程具有处理活动之不同的子集合。10.如申请专利范围第8项之方法,其中产生该复数个候选排程进一步包括排程复数个处理活动,各候选排程具有对于处理活动之不同的次序。11.如申请专利范围第8项之方法,其中产生该复数个候选排程进一步包括:辨识复数个处理活动;辨识复数个能施行该处理活动之处理工具;以及产生具有不同之选择用来施行该处理活动之处理工具之各候选排程。12.如申请专利范围第8项之方法,进一步包括:根据该不确定性値之预测之改变,产生关联于各候选排程之不确定性度量;以及选择具有最低不确定性度量之候选排程。13.如申请专利范围第8项之方法,其中各候选排程包括优先处理活动,而根据于不确定性値之预测改变之选择之其中一个候选排程,进一步包括当施行该优先处理活动时,选择其中一个具有最低不确定性之候选排程。14.一种用来监视制造系统(10)之系统,包括控制器(130),该控制器(130)组构成用来定义关联于该制造系统(10)的复数个观察状态,产生用于观察状态之状态估测,产生对于各状态估测之不确定性値,接收于制造系统(10)中关联于实体的测量资料,并根据关联于该状况估测之测量资料和不确定性値来更新状况估测。15.如申请专利范围第14项之系统,其中该控制器(130)进一步配置成用来产生包括状态估测之状态估测向量,和关联于该状态估测向量之协方差矩阵,该协方差矩阵包括定义该不确定性値之对角线项和定义状态之间相互依存关系之非对角线项。16.如申请专利范围第14项之系统,进一步包括排程控制器(320),配置成用来辨识于该制造系统(10)中用来施行活动之复数个候选排程,根据该候选排程预测于不确定性値之改变,并根据于该不确定性値之该预测之改变,选择其中一个该候选排程。图式简单说明:第1图是依照本发明之一个说明实施例,制造系统的简化区块图;第2图是第1图之制造系统一部份之简化区块图;第3A和3B图是例示或然率密度函数之图示;第4图到第29图显示第1图之控制器于各种情况下性能之图示;以及第30图表示依照本发明之另一个实施例,包括处理控制器和排程控制器之系统的区块图;以及第31图表示依照本发明之又另一个实施例,于制造系统中用于排程活动方法的简化流程图。 |
