| 主权项 |
1.一种微影投影装置,包括:一照明系统用以供应一辐射之投影光束;一第一物件平台用以支撑图案形成装置,该装置能够根据所欲的图案将投影光束形成特定的样式;第二及第三可移动的物件平台系个别用以支撑一基片,该第二及第三物件平台系可移动涵盖于一共同的移动范围,该范围包括至少第一及第二工作区域;及一投影系统用以将图案化的光束成像在基片的一目标部分上,及平台定位装置用以移动该第二及第三物件平台;其特征在于:碰撞防护装置本质上限制了该第二及第三物件平台之至少一平台的移动,用以防止该第二与第三物件平台之间的碰撞。2.如申请专利范围第1项之装置,其中该碰撞防护装置包括一迷宫式布置,其系在该第一与第二工作区域之间定出二不同的路径。3.如申请专利范围第2项之装置,其中该迷宫式布置包括第一及第二侧壁和一柱系配置在该侧壁之间,因此在该柱与该侧壁之间定出不同的路径。4.如申请专利范围第2或3项之装置,其中该不同的路径并非为平直的。5.如申请专利范围第2或3项之装置,其中该第二及第三物件平台以及该迷宫式布置系按适当尺寸大小切割成形,因此该第二及第三物件平台仅可穿过个别之不同的路径。6.如申请专利范围第1、2或3项之装置,其中该碰撞防护装置包括第一及第二梭动装置,该每一装置系可于分别接近该第一及第二工作区域的第一及第二位置之间移动,该梭动装置系为联节的因此当一梭动装置从第一位置移动至第二位置的同时,另一梭动装置从第二位置移动至第一位置,因此仅在每一梭动装置连接至该第二及第三物件平台之一不同的平台时系为可移动的。7.如申请专利范围第6项之装置,其中该梭动装置包括移动传动装置用以驱动该物件平台于该第一及第二工作区域间移动。8.如申请专利范围第1项之装置,其中该碰撞防护装置包括一可转动的栅栏系如枢轴般地安装在介于该第一及第二工作区域间该移动之范围内,因此在该栅栏将该第一及第二工作区域隔开之第一状态,与该栅栏于任一侧上定出不同之路径的第二状态间系为可转动的,藉此转动该第二与第三物件平台可在该第一及第二工作区域之间移动。9.如申请专利范围第1、2、3或8项之装置,进而包括第一及第二传动装置该每一装置可选择地连接至该第二及第三物件平台之任一平台上,该第一传动装置系可将在该第一工作区域与一移动区域中的一物件平台加以定位,该第二传动装置系可将在该第二工作区域与该移动区域中的一物件平台加以定位。10.如申请专利范围第9项之装置,其中该第一及第二传动装置包括一可松开的联结器装置,用以与该第二或第三物件平台啮合,该可松开的联结器装置具有一故障安全防护状态,于该状态下可维持该一物件平台之啮合。11.如申请专利范围第9项之装置,其中该第一及第二传动装置包括一可松开之联结器,该联结器具有一与一V形状沟槽一致的V形状脊状部分。12.如申请专利范围第1项之装置,其中该碰撞防护装置包括一安装至该平台定位装置之一活动部分上的减震器,用以吸收能量以防止该物件平台间的碰撞。13.如申请专利范围第1、2、3、8或12项之装置,进而包括基片装载装置用以将基片装载及移开至位在该第一工作区域中之该第二及第三物件平台上;且其中所布置之该投影装置系统用以将图案化的光束成像在一基片的目标部分上,该基片系配置在该第二工作区域中之该一物件平台上。14.一种微影投影装置,其包括:一照明系统用以供应一辐射之投影光束;第一及第二可移动的物件平台,其系个别用以支撑图案形成装置,该装置能够根据所欲的图案将投影光束形成特定的样式,该第一及第二物件平台系可移动涵盖于一共同的移动范围,该范围至少包括第一及第二工作区域;一第三可移动的物件平台用以支撑一基片;一投影系统用以将图案化的光束成像在基片的一目标部分上;及平台定位装置用以移动该第一及第二物件平台;其特征在于:碰撞防护装置本质上限制了该第一及第二物件平台之至少一平台之移动,用以防止该第一与第二物件平台之间的碰撞。15.如申请专利范围第14项之装置,其中该碰撞防护装置包括一迷宫式布置,其系在该第一与第二工作区域之间定出二不同的路径。16.如申请专利范围第15项之装置,其中该迷宫式布置包括第一及第二侧壁和一柱系配置在该侧壁之间,因此在该柱与该侧壁之间定出不同的路径。17.如申请专利范围第15或16项之装置,其中该不同的路径并非为平直的。18.如申请专利范围第15或16项之装置,其中该第一及第二物件平台以及该迷宫式布置系按适当尺寸大小切割成形,因此该第一及第二物件平台仅可穿过个别之不同的路径。19.如申请专利范围第14、15或16项之装置,其中该碰撞防护装置包括第一及第二梭动装置,该每一装置系可于分别接近该第一及第二工作区域的第一及第二位置之间移动,该梭动装置系为联节的因此当一梭动装置从第一位置移动至第二位置的同时,另一梭动装置从第二位置移动至第一位置,因此仅在每一梭动装置连接至该第一及第二物件平台之一不同的平台时系为可移动的。20.如申请专利范围第19项之装置,其中该梭动装置包括移动传动装置用以驱动该物件平台于该第一及第二工作区域间移动。21.如申请专利范围第14项之装置,其中该碰撞防护装置包括一可转动的栅栏系如枢轴般地安装在介于该第一及第二工作区域间该移动之范围内,因此在该栅栏将该第一及第二工作区域隔开之第一状态,与该栅栏于任一侧上定出不同之路径的第二状态间系为可转动的,藉此转动该第一与第二物件平台可在该第一及第二工作区域之间移动。22.如申请专利范围第14、15、16或21项之装置,进而包括第一及第二传动装置该每一装置可选择地连接至该第一及第二物件平台之任一平台上,该第一传动装置系可将在该第一工作区域与一移动区域中的一物件平台加以定位,该第二传动装置系可将在该第二工作区域与该移动区域中的一物件平台加以定位。23.如申请专利范围第22项之装置,其中该第一及第二传动装置包括一可松开的联结器装置,用以与该第一或第二物件平台啮合,该可松开的联结器装置具有一故障安全防护状态,于该状态下可维持该一物件平台之啮合。24.如申请专利范围第22项之装置,其中该第一及第二传动装置包括一可松开之联结器,该联结器具有一与一V形状沟槽一致的V形状脊状部分。25.如申请专利范围第14项之装置,其中该碰撞防护装置包括一安装至该平台定位装置之一活动部分上的减震器,用以吸收能量以防止该物件平台间的碰撞。26.一种利用微影投影装置制造元件的方法,其系包括:一照明系统用以供应一辐射之投影光束;一第一物件平台用以支撑图案形成装置,该装置能够根据所欲的图案将投影光束形成特定的样式;第二及第三可移动的物件平台,其系个别用以支撑一基片,该第二及第三物件平台系可移动涵盖于一共同的移动范围,该范围至少包括第一及第二工作区域;一投影系统用以将图案化的光束成像在基片的一目标部分上;及平台定位装置用以移动该第二及第三物件平台;该方法包括以下步骤:利用照明系统提供一辐射之投影光束;使用图案形成装置用以赋予投影光束于其断面具有一图案;将位在该第一工作区域中之该第二物件平台与位在该第二工作区域中之该第三物件平台加以定位;将一具有一辐射敏感层的第一基片配置到位在该第一工作区域中的该第二物件平台上;在该第一及第二工作区域间调换该第二及第三物件平台;将图案化之辐射光束投影到配置在第二物件平台之该第一基片之具有对辐射敏感材料之层的目标部分上;将具有一辐射敏感层的第二基片配置到位在该第一工作区域中的该第三物件平台上;及再次在该第一及第二工作区域间调换该第二及第三物件平台;其特征在于:于调换该第二及第三物件平台之该步骤期间,碰撞防护装置实际上限制了该第二及第三物件平台之至少一平台的移动,用以防止该第二及第三物件平台之间的碰撞。图式简单说明:图1系图示根据本发明之第一具体实施例的一种微影投影装置;图2系为图1之具有二晶圆平台位在操作位置之装置,其之晶圆载物台的平面图;图3系为一与图2相似的视图,但晶圆平台系处于在一调换制程之第一步骤;图4系为一与图2相似的视图,但晶圆平台系处于在一调换制程之第二步骤;图5系为一与图2相似的视图,但晶圆平台系处于在一调换制程之第三步骤;图6系为一与图2相似的视图,但晶圆平台系处于在一调换制程之第四步骤;图7系为一与图2相似的视图,但晶圆平台系处于在一调换制程之第五步骤;图8A至8D系为联结器机构图,用以在本发明之第一具体实施例中可松开地将晶圆载物台与传动装置结合;图9系为包括在图2之晶圆载物台中一迷宫式布置(labyrinth)的平面图;图10系为本发明之第二具体实施例之晶圆载物台的平面视图,该晶圆平台系处于一调换或交换制程之第二步骤;图11系为与图10相似的视图,但该晶圆平台系处于一交换制程之第三步骤;图12系为与图10相似的视图,但该晶圆平台系处于一交换制程之第四步骤;图13系为与图10相似的视图,但该晶圆平台在完成交换之后系处于操作位置;图14系为本发明之第三具体实施例之晶圆载物台的平面视图;图15系为本发明之第四具体实施例之晶圆载物台的平面视图;图16系为本发明之第四具体实施例之晶圆载物台的平面视图,图中显示平台系如何防止通过中心杆之错误的侧边;图17系为本发明之第五具体实施例之晶圆载物台的平面视图;图18系为本发明之第五具体实施例之修正的晶圆载物台的平面视图;及图19系为本发明之第六具体实施例之晶圆载物台的平面视图。 |
