发明名称 在单片式倒装晶片中之多数半导体元件
摘要 一种倒装晶片结构系在一共同的晶片中含有侧向分开的半导体元件例如MOSFET等。一深沟会隔离该等元件。触点等会连接于源极、汲极和闸极电极(或其它电极),并在该晶片中或在其支撑板上依一电路功能的需要来互相连接。凸球触点会连接于该等电极。该晶片相反于设有该等元件的表面上,系形成一铜或其它金属层,其会被图案化来增加热交换的面积。该铜的表面会被覆设黑色氧化物来增加其热辐射的能力。
申请公布号 TWI223881 申请公布日期 2004.11.11
申请号 TW091122727 申请日期 2002.10.02
申请人 国际整流器公司 发明人 马克.帕维;提姆.赛门
分类号 H01L23/48;H01L23/52;H01L29/40 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种整合的倒装晶片结构,包含单一的矽晶片具 有一承接顶面;一第一及第二半导体元件,各具有 一组接合图案及一组端子金属;该第一与第二组接 合图案系被设在该承接顶面之侧向分隔的个别区 域中;该第一与第二元件之各组端子金属系侧向地 互相隔开,并被设在该承接顶面上,而使所有的该 等端子金属皆可由该倒装晶片结构的一面来接近 。 2.如申请专利范围第1项之装置,其包含一深隔离沟 伸入该承接顶面中,并包围含有一组接合图案的区 域。 3.如申请专利范围第2项之装置,其中该第一及第二 半导体元件系为MOSFET元件,其各具有源极、汲极和 闸极端子金属。 4.如申请专利范围第3项之装置,其中该等端子金属 各包含一接触凸球。 5.如申请专利范围第3项之装置,其中该装置具有五 个端子连接体,包含一第一端子连接体连接于第一 元件的汲极端子金属;一第二端子连接体连接于第 二元件的源极端子金属;一第三端子连接体连接于 第一元件的源极端子金属和第二元件的汲极端子 金属;及第四和第五端子连接体分别连接于第一和 第二元件的闸极。 6.如申请专利范围第5项之装置,其中该装置系可在 一同步反向变换电路中来直接连结。 7.如申请专利范围第5项之装置,其中该等端子连接 体包含在承接该整合结构之一支撑板上的分隔金 属化图案等。 8.如申请专利范围第5项之装置,其中该晶片与该承 接顶面相反的表面上设有一金属化层;该金属化层 会被图案化来形成散热片,俾当该晶片之承接顶面 被装设在一支撑板上时,可增进该晶片的冷却效果 。 9.如申请专利范围第5项之装置,其中该晶片与该承 接顶面相反的表面上设有一金属化层;并有一高散 热层设在该金属化层的外表面上。 10.如申请专利范围第9项之装置,其中该散热层系 为一黑色氧化物。 11.一种倒装晶片半导体装置,具有相反的第一与第 二表面,该第一表面具有端子触点等可连接于一支 撑表面;该第二表面具有一金属化层设于其上;该 金属化层会被图案化来形成散热片,俾当该晶片之 承接顶面被装设在一支撑板上时,可增进该晶片的 冷却效果。 12.如申请专利范围第11项之装置,其中该金属化层 系为铜。 13.如申请专利范围第12项之装置,其中更包含一高 散热层设在该金属化层的表面上。 14.如申请专利范围第13项之装置,其中该高散热层 系为一黑色氧化物。 15.一种倒装晶片半导体装置,具有相反的第一与第 二表面,该第一表面具有端子触点等可连接于一支 撑表面;该第二表面具有一金属化层设于其上;及 一高散热层设在该金属化层的表面上。 16.如申请专利范围第15项之装置,其中该高散热层 系为一黑色氧化物。 图式简单说明: 第1图为一典型的同步反向变换电路之电路图,其 中的半导体构件可依据本发明来制成。 第2图为一含有第1图之半导体元件的单片式晶片 之截面图。 第3图为第2图中的元件之一MOSFET胞元的放大图。 第4图为第2图之晶片的顶视图,其中共用的球形端 子系被串接来简单连接于一支撑表面。 第5图示出第2图之元件的底面,其系被图案化来加 强冷却,并设有一高散热性涂层。 第6及7图分别示出第4图之元件中的焊球布局之第 二及第三实施例。
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