| 主权项 |
1.一种薄膜装置的制造方法,属于具有朝所定方向 相对地移动液滴吐出头与基板,而从形成于上述液 滴吐出头且隔着所定间隔配置与上述所定方向相 交方向的复数吐出喷嘴,对于上述基板吐出液状材 料,而在上述基板上制膜所定图案的工序的装置的 制造方法,其特征为具有: 对于上述基板,设定上述液状材料的液滴所吐出的 格子状的复数单位领域的工序,及 对于上述复数单位领域中所定单位领域,从上述吐 出喷嘴吐出上述液滴而形成上述图案的工序; 将上述液滴吐出头的上述吐出喷嘴的间隔作为a, 而将与上述单位领域的上述所定方向相交方向的 大小作为by时,能满足by=a/n(n是正的整数)的条件地, 设定上述单位领域。 2.如申请专利范围第1项所述的制造方法,其中,将 上述单位领域的上述所定方向的大小作为bx1时,能 满足bx1=a/n(n是正的整数)的条件地,设定上述单位 领域。 3.如申请专利范围第1项所述的制造方法,其中,将 上述单位领域的上述所定方向的大小作为bx1时,能 满足bx1=by=a/n(n是正的整数)的条件地,设定上述单 位领域。 4.如申请专利范围第1项所述的制造方法,其中,上 述相对移动下进行上述吐出之际,配置于上述基板 上的液滴彼此间不会重叠,或是产生配置于上述基 板上之际的液滴的直径的10%以下的重叠地,在上述 所定方向吐出上述液滴。 5.如申请专利范围第1项所述的制造方法,其中,上 述相对移动下进行上述吐出,并将上述液滴吐出头 与上述基板朝与上述所定方向相交的方向仅相对 地步进移动大小by的正的整数倍之后,进行上述吐 出。 6.如申请专利范围第5项所述的制造方法,其中,上 述步进移动之后,进行上述吐出之际,配置于上述 基板上的液滴彼此间不会重叠,或是产生配置于上 述基板上之际的液滴的直径的10%以下的重叠地,在 与上述所定方向相交的方向吐出上述液滴。 7.如申请专利范围第1项所述的制造方法,其中,将 上述吐出喷嘴的间隔a或其1/n(n是2以上的整数)作 为基本单位,进行利用上述吐出所形成的图案以外 的图案设计。 8.如申请专利范围第1项所述的制造方法,其中,进 行利用上述吐出所形成的图案以外的图案设计之 际,依据所设定的上述单位领域进行设计。 9.一种薄膜装置,其特征为:利用申请专利范围第1 项所述的薄膜装置的制造方法所制造者。 10.一种电子机器,其特征为:具备申请专利范围第9 项所述的薄膜装置者。 11.一种薄膜装置的制造方法,属于朝所定方向相对 地移动液滴吐出头与基板,而从形成于上述液滴吐 出头且并排地设置在与上述所定方向相交方向的 复数吐出喷嘴,对于上述基板吐出液状材料,而在 上述基板上制膜所定图案的工序的装置的制造方 法,其特征为具有: 对于上述基板,设定上述液状材料的液滴所吐出的 格子状的复数单位领域的工序,及 对于上述复数单位领域中所定单位领域,从上述吐 出喷嘴吐出上述液滴而形成上述图案的工序; 将与事先规定的上述所定方向相交方向的规定値 作为bky; 将上述液滴吐出头的上述吐出喷嘴的间隔作为a, 将与上述单位领域的上述所定方向相交方向的大 小作为by2, 将单位领域的上述所定方向的大小作为bx2, 而将上述液滴吐出头对于与上述所定方向正交的 方向倾斜角度进行上述相对移动之际,能满足 by2=bky/n(n是正的整数)且 bx2=(a.sin)/m(m是正的整数) 的条件地,设定上述单位领域。 12.如申请专利范围第11项所述的制造方法,其中,将 上述吐出喷嘴的间隔a或其1/n(n是2以上的整数)作 为基本单位,进行利用上述吐出所形成的图案以外 的图案设计。 13.如申请专利范围第11项所述的制造方法,其中,进 行利用上述吐出所形成的图案以外的图案设计之 际,依据所设定的上述单位领域进行设计。 14.一种薄膜装置,其特征为:利用申请专利范围第11 项所述的薄膜装置的制造方法所制造者。 15.一种电子机器,其特征为:具备申请专利范围第14 项所述的薄膜装置者。 图式简单说明: 第1图是表示使用本发明的薄膜装置的制造方法的 液滴吐出装置的概略立体图。 第2图是表示液滴吐出头的概略外观点。 第3图是表示说明本发明的薄膜装置的制造方法所 需时图式,表示吐出喷嘴的间隔与单位领域的图式 。 第4图是表示本发明的薄膜装置的制造方法的说明 图。 第5图是表示本发明的薄膜装置的制造方法的说明 图。 第6图是表示本发明的薄膜装置的制造方法的说明 图。 第7图是表示本发明的薄膜装置的制造方法的说明 图。 第8图是表示本发明的薄膜装置的制造方法的说明 图。 第9A图及第9B图是表示本发明的薄膜装置的制造方 法的其他实施例的说明图。 第10图是表示本发明的薄膜装置的一例的图式,表 示电浆型显示装置的分解立体图。 第11图是表示本发明的薄膜装置的一例的图式,表 示液晶显示装置的俯视图。 第12A图至第12C图是表示本发明的电子机器的图式; 第12A图表示手机的一例的图式;第12B图是表示手提 型资讯处理装置的一例的图式;第12C图是表示手表 型电子机器的一例的图式。 第13图是表示本发明的薄膜装置的一例的图式,表 示非接触型卡媒体的分解立体图。 第14图是表示本发明的薄膜装置的制造方法所适 用的液晶显示装置的交换元件及信号线等値电路 图。 第15图是表示本发明的薄膜装置的制造方法所适 用的液晶显示装置的TFT阵列基板的构造的俯视图 。 第16图是表示本发明的薄膜装置的制造方法所适 用的液晶显示装置的主要部分剖视图。 第17图是表示本发明的薄膜装置的制造方法所适 用的滤色片的模式图。 第18A图至第18F图示本发明的薄膜装置的制造方法 所适用的滤色片的模式图。 第19A图至第19E图示本发明的薄膜装置的制造方法 所适用有机EL装置的制程的模式图。 第20A图至第20C图示本发明的薄膜装置的制造方法 所适用有机EL装置的制程的模式图。 第21A图至第21C图示本发明的薄膜装置的制造方法 所适用有机EL装置的制程的模式图。 |
