| 发明名称 |
WAFER INSPEKTIONSYSTEM FÜR DIE UNTERSCHEIDUNG VON LÖCHERN UND STAUBPARTIKELN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69723997(T2) |
申请公布日期 |
2004.11.11 |
| 申请号 |
DE19976023997T |
申请日期 |
1997.12.02 |
| 申请人 |
ADE OPTICAL SYSTEMS CORP., CHARLOTTE |
发明人 |
FOSSEY, E.;STOVER, C. |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;G06T1/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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