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发明名称 Gasstrahldüse für Extrem-Ultraviolett-Lichtquelle
摘要
申请公布号 DE60103949(T2) 申请公布日期 2004.11.11
申请号 DE20016003949T 申请日期 2001.04.11
申请人 NORTHROP GRUMMAN CORP., LOS ANGELES 发明人 MCGREGOR, ROY D.;CLENDENING, JR.
分类号 G21K1/00;G03F7/20;H01L21/027;H01S3/00;H05G2/00;H05H1/24;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G21K1/00
代理机构 代理人
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