发明名称 DARK FIELD ILLUMINATION SYSTEM
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Dunkelfeld-Beleuchtungssystem und ist anwendbar sowohl in der Durchlicht- als auch in der Auflichtmikroskopie Zur gleichmässigen Ausleuchtung der bei geringen Vergrösserungen auftretenden grossen Objektfelder wird eine Kombination mit einem ersten segmentierten und einem zweiten asphärischen Spiegel vorgeschlagen.</p>
申请公布号 WO2004097492(A1) 申请公布日期 2004.11.11
申请号 WO2004EP02432 申请日期 2004.03.10
申请人 CARL ZEISS JENA GMBH;BREHM, MICHAEL;FAHLBUSCH, INGO;HEISE, HEINO;KLEINSCHMIDT, WERNER;VOGELGSANG, ANKE 发明人 BREHM, MICHAEL;FAHLBUSCH, INGO;HEISE, HEINO;KLEINSCHMIDT, WERNER;VOGELGSANG, ANKE
分类号 G02B21/08;G02B21/10;(IPC1-7):G02B21/10 主分类号 G02B21/08
代理机构 代理人
主权项
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