发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PLASMABESCHICHTUNG VON OBERFLÄCHEN
摘要
申请公布号 DE50008155(D1) 申请公布日期 2004.11.11
申请号 DE20005008155 申请日期 2000.03.17
申请人 PLASMATREAT GMBH;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 FOERNSEL, PETER;BUSKE, CHRISTIAN;HARTMANN, UWE;BAALMANN, ALFRED;ELLINGHORST, GUIDO;VISSING, KLAUS-D.
分类号 B05D1/08;C23C4/12;C23C16/513;(IPC1-7):C23C4/12 主分类号 B05D1/08
代理机构 代理人
主权项
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