发明名称 Optischer Lithografiekristall zur Streuungslenkung für die optische Lithografie und 160nm und Verfahren hierzu
摘要
申请公布号 DE10297462(T5) 申请公布日期 2004.11.11
申请号 DE2002197462T 申请日期 2002.11.12
申请人 CORNING INC., CORNING 发明人 SPARROW, ROBERT W.
分类号 G02B1/02;C30B11/00;C30B29/12;H01L21/027 主分类号 G02B1/02
代理机构 代理人
主权项
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