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发明名称
摘要
申请公布号 JP3587249(B2) 申请公布日期 2004.11.10
申请号 JP20010038424 申请日期 2001.02.15
申请人 发明人
分类号 H05B3/14;F24H1/10;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/31;H05B3/40;H05B3/42;H05B3/44;H05B3/46;(IPC1-7):F24H1/10 主分类号 H05B3/14
代理机构 代理人
主权项
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