一种用于气相沉积的水平式反应器结构

摘要

本发明涉及一种用于气相沉积的水平式反应器的结构，其特征在于采用了源气垂直喷淋供给的方式。该反应器结构由两组喷淋头、一路载气、一个样品托和一个圆形或者方形的水平腔体构成，整个反应器结构放在水平腔体内，源气和载气进气口和出气口分别在水平腔体的两端，使用时反应器水平放置。由于采用垂直喷淋供气方式，使得两种反应气体在混合区很小的情况下也可以实现均匀混合，既保证了外延生长中大面积均匀性的实现，同时也减少了对外延生长有害的预反应的发生。采用喷淋头与样品平行的结构，既可以采用集成化的反应器结构，即源气喷淋头和样品托固定在一起，也可以分别控制各气路的位置，使得反应器容易加工，使用灵活，适合于批量生产。

主权项

1、一种用于气相沉积的水平式反应器结构，其特征在于：(1)反应器由两组喷淋头、一路载气、一个样品托和一个水平腔体构成；(2)两组源气以垂直喷淋方式分别从两个喷淋孔流出；两组气的喷淋头在空间上重叠，两路喷淋头的喷淋孔在水平位置上均匀相间排开，与下面的样品托上下对正；(3)载气的方向沿水平式反应器方向，与源气方向垂直；(4)样品托的方向与喷淋头平行。