光波导及其制造方法

摘要

公开一种具有特殊的掺杂剂分布的光波导，所述掺杂剂分布能够减小光波导的变形并且减小其中存在的残留应力，从而避免双折射。还公开一种制造光波导的方法。该光波导包括：基片；用掺杂剂掺杂的下包层，该掺杂剂的含量在下包层的厚度方向上连续地变化，使得下包层呈现在其厚度方向上变化的折射率分布；以及在下包层上形成的芯层。

主权项

1.一种光波导，它包括：基片；用掺杂剂掺杂的下包层，所述掺杂剂的含量在所述下包层的厚度方向上连续地变化，使得所述下包层呈现在其厚度方向上变化的折射率分布；以及在所述下包层上形成的芯层。