用等离子体技术制备透明低阻/高阻复合膜

摘要

用等离子体技术制备透明低阻/高阻复合膜本项发明所属领域为，新型光电子材料。用低温等离子技术制备透明低电阻/高电阻复合薄膜，属于真空物理和半导体技术相结合的新工艺。本发明主要针对制备太阳能电池的透明电极时，需反复沉积透明导电膜和透明高阻膜。用氧等离子对透明导电薄膜进行轰击，一次性将透明导电薄膜处理成透明低阻/高阻复合膜，而无需再沉积一层透明高阻膜。该发明减化了生产工艺，大幅降低产品成本。本发明还可用于液晶显示器和塑料显示器的透明电极。

主权项

1.一个使用低温等离子技术制备透明低阻/高阻复合膜的方法。其特征是，在透明低电阻膜的基础上，用氧等离子进行轰击，对透明低阻膜内的氧缺位进行补偿，从而形成低阻/高阻复合膜。