锆钛酸铅铁电膜非对称平板光波导

摘要

本发明公开了一种锆钛酸铅铁电膜非对称平板光波导，该波导包括硅基片，在硅基片上依次有相互牢固结合的导电金属氧化物镍酸镧缓冲层，通过锆组份的变化得到折射率差异的锆钛酸铅衬底层和锆钛酸铅导光层。该波导是利用锆钛酸铅铁电膜的折射率随锆含量减少而增加的线性缓变特性，使得导光层和衬底的折射率有较小的差，从而实现光波在导光层中的单模传输。使光波导器件性能优化，满足了用于制作集成光路的要求。

主权项

1.一种锆钛酸铅铁电膜非对称平板光波导，包括Si基片(1)，其特征在于：在Si基片(1)上依次有相互牢固结合的导电金属氧化物LaNiO3缓冲层(2)，二层通过锆组份的变化得到折射率差异的PbZrTiO3膜层，它们分别是PbZrxTi1-xO3衬底层(3)，PbZryTi1-yO3导光层(4)，其中的x和y为摩尔数。