| 发明名称 | 晶片探测器 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供一种晶片探测器，它重量轻、热响应动力学极佳且在受到探测卡的挤压时没有翘曲，因而能有效地保护它防止对硅晶片的损坏和测量误差。本发明涉及一种陶瓷基底的表面上形成有导体层的晶片探测器。 | ||
| 申请公布号 | CN1545139A | 申请公布日期 | 2004.11.10 |
| 申请号 | CN200410043521.1 | 申请日期 | 1999.10.15 |
| 申请人 | IBIDEN股份有限公司 | 发明人 | 伊藤淳;平松靖二;伊藤康隆;古川正和 |
| 分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 洪玲 |
| 主权项 | 1.一种晶片探测器，包括陶瓷基底及其表面上形成的导体层，其中在所述陶瓷基底中形成至少一个导体层。 | ||
| 地址 | 日本岐阜县 | ||