| 发明名称 | 一种用于扩散、氧化、外延工艺的清洗溶液 | ||
| 摘要 | 本发明为一种用于扩散、氧化、外延等工艺预清洗的清洗溶液。该清洗溶液是在标准的APM清洗溶液基础上，使用臭氧替代双氧水，并添加四甲基氢氧化氨、络合试剂CA而组成的混合液。使用该清洗溶液，只需一步清洗就能实现多步清洗的效果，缩短了清洗时间，提高了产品质量，而且节省了试剂消耗，减少了废物处理，降低了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN1545128A | 申请公布日期 | 2004.11.10 |
| 申请号 | CN200310108836.5 | 申请日期 | 2003.11.25 |
| 申请人 | 上海华虹(集团)有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 | 发明人 | 王刘坤 |
| 分类号 | H01L21/02;B08B3/08 | 主分类号 | H01L21/02 |
| 代理机构 | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人 | 滕怀流;陶金龙 |
| 主权项 | 1、一种用于扩散、氧化、外延工艺清洗溶液，其特征在于由氨水、臭氧、高纯水、四甲基氢氧化氨、络合试剂CA混合组成。 | ||
| 地址 | 200020上海市淮海中路918号18楼 | ||