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发明名称 Device for coating a substrate from an electrically conductive target
摘要
申请公布号 EP0772223(A3) 申请公布日期 2004.11.10
申请号 EP19960111817 申请日期 1996.07.23
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG 发明人 SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR.;TESCHNER, GOETZ;BRAEUER, GUENTER, DR.
分类号 C23C14/34;C23C14/40;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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