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发明名称
PROCESS FOR PRODUCING SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
EP0834594(B1)
申请公布日期
2004.11.10
申请号
EP19960915180
申请日期
1996.05.17
申请人
ASAHI GLASS COMPANY LTD.
发明人
NAKAGAMA, SUSUMU;HIGETA, MASAO;HAYASHI, ATSUSHI
分类号
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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