检查装置用传感器和检查装置

摘要

本发明提供一种可精密检查导体图案形状的检查装置用传感器及使用该传感器的检查装置。传感元件12a包含MOSFET，配置铝电极(AL)，作为无源元件80。作为无源元件80的铝电极80连接于MOSFET81的栅极及MOSFET82的源极上。另外，从电源电路部18向MOSFET81的漏极施加电压VDD，将MOSFET81的源极连接于MOSFET83的漏极上。向MOSFET82的栅极输入来自纵向选择部14的复位信号，从电源电路部18向MOSFET82的漏极施加电压VDD。从纵向选择部14向MOSFET83的栅极输入选择信号，向横向选择部13输入来自MOSFET83的源极的输出。

主权项

1、一种传感器，具有为了检查电路基板的导电图案而非接触地检测由向该导电图案提供检查信号所引起的电位变化的传感元件，其特征在于：所述传感元件包含：由金属电极形成的无源元件，构成在半导体的单晶上，与所述导电图案相对，作为静电电容耦合的相对电极而动作，检测所述导电图案的电压变化；和晶体管，对应于选择信号的输入来输出由所述无源元件输出的检测信号。