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发明名称 Very stable excimer or molecular fluorine laser
摘要
申请公布号 EP1037339(B1) 申请公布日期 2004.11.10
申请号 EP20000105119 申请日期 2000.03.10
申请人 LAMBDA PHYSIK AG 发明人 BORNEIS, STEFAN;BRUNWINKEL, KLAUS;STAMM, UWE, DR.;VOSS, FRANK
分类号 H01S3/225;H01S3/134;G03F7/20;H01S3/036;(IPC1-7):H01S3/225 主分类号 H01S3/225
代理机构 代理人
主权项
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