发明名称 COMPACT GATE VALVE
摘要
申请公布号 EP1234133(B1) 申请公布日期 2004.11.10
申请号 EP20000982295 申请日期 2000.11.29
申请人 WAFERMASTERS, INCORPORATED;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 YOO, WOO, SIK;KURIBAYASHI, HIROMITSU
分类号 F16K3/12;F16K51/02;H01L21/677;H01L21/02;(IPC1-7):F16K51/02 主分类号 F16K3/12
代理机构 代理人
主权项
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