发明名称 Direct bonding of articles containing silicon
摘要
申请公布号 US6814833(B2) 申请公布日期 2004.11.09
申请号 US20010035564 申请日期 2001.10.26
申请人 CORNING INC 发明人 SABIA ROBERT
分类号 C03C27/06;H01L21/306;H01L21/762;(IPC1-7):B32B31/12 主分类号 C03C27/06
代理机构 代理人
主权项
地址