发明名称 |
Carbonaceous complex structure and manufacturing method therefor |
摘要 |
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申请公布号 |
US6815067(B2) |
申请公布日期 |
2004.11.09 |
申请号 |
US20020159239 |
申请日期 |
2002.05.30 |
申请人 |
SONY CORP;RES INST INNOVATIVE TECH EARTH |
发明人 |
ATA MASAFUMI;RAMM MATTHIAS |
分类号 |
B01J35/00;C01B31/02;H01L31/028;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/42;H01L51/50;(IPC1-7):B32B9/00 |
主分类号 |
B01J35/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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