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发明名称 Illumination optical system in exposure apparatus
摘要
申请公布号 US6816234(B2) 申请公布日期 2004.11.09
申请号 US20010821024 申请日期 2001.03.30
申请人 CANON KK 发明人 TSUJI TOSHIHIKO
分类号 G02B5/32;G02B19/00;G03B27/54;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03B27/42;G03B27/72 主分类号 G02B5/32
代理机构 代理人
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