| 发明名称 |
Scanning electron microscope and method of controlling the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6815677(B2) |
申请公布日期 |
2004.11.09 |
| 申请号 |
US20010815282 |
申请日期 |
2001.03.23 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
NAGAI KOUICHI;IKEDA TAKAHIRO |
| 分类号 |
G01B15/00;G21K7/00;H01J37/22;H01J37/28;(IPC1-7):G21K7/00;G01N23/00 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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