发明名称 Method for forming multi-layer metal line of semiconductor device
摘要
申请公布号 US6815334(B2) 申请公布日期 2004.11.09
申请号 US20020330057 申请日期 2002.12.30
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC 发明人 YOON JUN HO
分类号 H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/476 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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