发明名称 |
Method and apparatus for exciting a microdischarge |
摘要 |
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申请公布号 |
US6815891(B2) |
申请公布日期 |
2004.11.09 |
申请号 |
US20010062269 |
申请日期 |
2001.10.26 |
申请人 |
BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS |
发明人 |
EDEN J GARY;PARK SUNG-JIN;WAGNER CLARK J |
分类号 |
G01N30/64;G01N30/74;H01J9/24;H01J17/40;H01J61/30;(IPC1-7):H01J17/04 |
主分类号 |
G01N30/64 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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