发明名称 Method and apparatus for exciting a microdischarge
摘要
申请公布号 US6815891(B2) 申请公布日期 2004.11.09
申请号 US20010062269 申请日期 2001.10.26
申请人 BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS 发明人 EDEN J GARY;PARK SUNG-JIN;WAGNER CLARK J
分类号 G01N30/64;G01N30/74;H01J9/24;H01J17/40;H01J61/30;(IPC1-7):H01J17/04 主分类号 G01N30/64
代理机构 代理人
主权项
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