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发明名称 Semiconductor substrate cleaning
摘要
申请公布号 US6815368(B2) 申请公布日期 2004.11.09
申请号 US20030342853 申请日期 2003.01.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/302;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/461;H01L21/768;H01L21/8242;H01L29/40;H01L29/76;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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