| 发明名称 |
Method to solve IMD-FSG particle and increase Cp yield by using a new tougher UFUN season film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6815007(B1) |
申请公布日期 |
2004.11.09 |
| 申请号 |
US20020086258 |
申请日期 |
2002.03.04 |
| 申请人 |
TAIWAN SEMICONDUCTOR MFG |
发明人 |
YOO MING-HWA;LIN SHIH-CHI;CHENG YI-LUNG;WU SZU-AN;WANG YING-LANG |
| 分类号 |
C23C16/22;C23C16/30;C23C16/40;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/22 |
主分类号 |
C23C16/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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