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发明名称 Method for fabricating a deep trench capacitor
摘要
申请公布号 US6815307(B1) 申请公布日期 2004.11.09
申请号 US20030605217 申请日期 2003.09.16
申请人 NANYA TECHNOLOGY CORP 发明人 HSU PING;TSAI TZU-CHING
分类号 H01L21/20;H01L21/334;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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