发明名称 Semiconductor device and semiconductor substrate, and method of fabricating the same
摘要
申请公布号 US6815726(B2) 申请公布日期 2004.11.09
申请号 US20030249116 申请日期 2003.03.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ISHIDA MASAHIRO;NAKAMURA SHINJI;ORITA KENJI;IMAFUJI OSAMU;YURI MASAAKI
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/338;H01L29/04;H01L29/20;H01L29/205;H01L29/812;H01L29/861;H01L33/00;H01L33/06;H01L33/12;H01L33/14;H01L33/16;H01L33/22;H01L33/32;H01S5/223;H01S5/323;H01S5/343;(IPC1-7):H01L29/22 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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