| 发明名称 |
Critical dimension control of printed features using non-printing fill patterns |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2004219435(A1) |
申请公布日期 |
2004.11.04 |
| 申请号 |
US20030425817 |
申请日期 |
2003.04.29 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES CORP;IBM |
发明人 |
WU CHUNG-HSI J;BRUNNER TIMOTHY ALLAN;BUTT SHAHID;SPENO PATRICK |
| 分类号 |
G03C5/00;G03F1/14;G03F7/20;G03F9/00;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/66;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03C5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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