Hermetische Abdichtung und gesteuerte Impedanz-HF-Verbindungen für einen Flüssigmetall-Mikroschalter

摘要

Ein oder mehrere LIMMS-Bauelemente auf einem Substrat, die möglicherweise Signalleiter auf derselben Oberfläche aufweisen, sind hermetisch abgedichtet entweder durch: (a) Einschließen jedes gesamten LIMMS-Bauelements unter einer gemeinsamen oder jeweiligen Außenabdeckung, die getrennt von dem/den LIMMS-Bauelement/en und undurchlässig gegenüber Verschmutzungen ist; oder (b) Herstellen jedes LIMMS-Bauelements, derart, daß dessen individueller Abdeckungsblock (der bereits eine Komponente des LIMMS ist und keine separate Außenabdeckung) hermetisch gegen das Substragt abgedichtet sein kann. Jeder Fall muß die Auswirkungen der hermetischen Abdichtung auf die Impedanzen einschränken. In dem Fall (a) ist das Substrat durch eine Schicht aus dielektrischem Material abgedichtet, die mit der bandähnlichen Standfläche des Umfangs der separaten Außenabdeckung übereinstimmt. In dem Fall (b) empfängt die gesamte (durchgehende) Standfläche des LIMMS-Abdeckungsblocks auf dem Substrat eine Schicht aus dielektrischem Material, die ihrerseits dann mit geeignetem Haftmittel abgedeckt sein kann, außer in der Nähe ihres Umfangs. In dem Fall (a) kann die Außenabdeckung an die Umfangsstandfläche gelötet sein. In dem Fall (b) kann der Abdeckungsblock an die dielektrische Schicht gelötet sein. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel für die Fälle (a) und (b) wird Glasfritte anstelle von Lötmittel verwendet. Störungen der Signalleitungsimpedanz können durch Änderungen der Signalleiterbreite ...