发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Taktschrägemessung
摘要
申请公布号 DE10297381(T5) 申请公布日期 2004.11.04
申请号 DE20021097381T 申请日期 2002.10.21
申请人 ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 SOMA, MANI;ISHIDA, MASAHIRO;YAMAGUCHI, TAKAHIRO
分类号 G01R23/02;G01R29/02;G01R31/28;G01R31/317;G06F1/10;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R23/02
代理机构 代理人
主权项
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