发明名称 Process and apparatus for treating gas containing fluorine-containing compounds and CO
摘要
申请公布号 US2004219086(A1) 申请公布日期 2004.11.04
申请号 US20040855428 申请日期 2004.05.28
申请人 EBARA CORP 发明人 MORI YOICHI
分类号 B01D53/34;B01D53/68;B01D53/86;B01J21/04;C07B35/06;C07B37/06;C07C19/08;(IPC1-7):B01D53/68 主分类号 B01D53/34
代理机构 代理人
主权项
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