| 发明名称 |
Method of providing context specific recipes in a semiconductor facility by defining product categories |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2004220968(A1) |
申请公布日期 |
2004.11.04 |
| 申请号 |
US20030745044 |
申请日期 |
2003.12.23 |
| 申请人 |
HELLIG KAY;GRUNZ RONALD;WAGNER HEIKO;LIEBOLD UWE |
发明人 |
HELLIG KAY;GRUNZ RONALD;WAGNER HEIKO;LIEBOLD UWE |
| 分类号 |
G05B19/418;G06F17/00;G06Q10/00;H01L21/66;(IPC1-7):G06F17/00 |
主分类号 |
G05B19/418 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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