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发明名称
摘要
申请公布号 JP3583451(B2) 申请公布日期 2004.11.04
申请号 JP19930255515 申请日期 1993.10.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/223;H01L21/285;H01L29/43;(IPC1-7):H01L29/43 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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