| 发明名称 |
Method for manufacturing metal structure using trench |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US2004219778(A1) |
申请公布日期 |
2004.11.04 |
| 申请号 |
US20030739578 |
申请日期 |
2003.12.19 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD |
发明人 |
SHIM DONG-SIK;NA KYUNG-WON;CHOI SANG-ON;PARK HAE-SEOK |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/476 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
