| 发明名称 |
Wiederverwendbarer Trägerwafer und Verfahren zur Herstellung desselben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10232914(B4) |
申请公布日期 |
2004.11.04 |
| 申请号 |
DE20021032914 |
申请日期 |
2002.07.19 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
SPOEHRLE, HANS PETER |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/58;B81C1/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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