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发明名称
摘要
申请公布号	JP3584091(B2)	申请公布日期	2004.11.04
申请号	JP19950226085	申请日期	1995.08.11
申请人		发明人
分类号	C30B25/00;C23C16/18;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/18	主分类号	C30B25/00
代理机构		代理人
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