发明名称
摘要
申请公布号 JP3584035(B2) 申请公布日期 2004.11.04
申请号 JP19940515121 申请日期 1993.08.30
申请人 发明人
分类号 G02F1/1345;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/306;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/764;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 G02F1/1345
代理机构 代理人
主权项
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