发明名称 Calibration and alignment of X-ray reflectometric systems
摘要
申请公布号 US2004218717(A1) 申请公布日期 2004.11.04
申请号 US20040861120 申请日期 2004.06.04
申请人 KOPPEL LOUIS N;UHRICH CRAIG E;OPSAL JON 发明人 KOPPEL LOUIS N;UHRICH CRAIG E;OPSAL JON
分类号 G01N23/20;(IPC1-7):G01N23/20;G01N23/201 主分类号 G01N23/20
代理机构 代理人
主权项
地址