| 发明名称 |
Apparatus and methods for measuring resistance of conductive layers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2004217766(A1) |
申请公布日期 |
2004.11.04 |
| 申请号 |
US20030427473 |
申请日期 |
2003.04.30 |
| 申请人 |
ERICKSON GARY C;POLLACK MARK S;NEGLEY MARK A |
发明人 |
ERICKSON GARY C;POLLACK MARK S;NEGLEY MARK A |
| 分类号 |
G01R27/08;B64D45/02;B64F5/00;G01R27/02;G01R27/14;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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